Новая технология может заменить уже существующую, по которой производит оборудование лишь одна зарубежная компания.
pixabay.com
Ученые СПбПУ создали кремниевые наноиглы, которые помогут увеличить срок работы рентгеновских аппаратов в 10-50 раз. Данный материал можно использовать в электронике, медоборудовании и высокотехнологичных портативных устройствах.
Разработка появилась благодаря новой технологии безмасочной наносферной литографии и плазмохимического травления при комнатной температуре, что позволяет контролируемо изменять размер игл для соответствия конкретным нуждам их использования в отечественном высокотехнологичном оборудовании.
«Проведенные исследования позволили задавать наноиглам различные размеры с высокой степенью контроля и воспроизводимостью. Нам удалось получить наименьшие в России монолитные структуры с диаметром основания 72 нанометра», – рассказал завлабораторией СПбПУ Артем Осипов.
В статье, опубликованной в журнале Scientific Reports, специалисты подробно описали технологию и объяснили ее преимущества перед аналогичными. Она не требует применения дополнительного шаблона и позволяет проводить плазмохимическое травление без использования сверхнизких температур, в отличие от аналогичных технологий. Это значительно упрощает процесс и позволяет сократить расходы.
